光刻机巨头阿斯麦工厂火灾后启动恢复
荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)位于德国柏林的一家工厂发生火灾，阿斯麦正启动一项恢复计划。
这场大火于1月3日在德国柏林的一个生产工厂现场发生，并在夜间被扑灭。暂无受伤报告，该事件引起全球关注，根据该公司更新的讯息，初步评估柏林厂受到的影响有限，但极紫外光（EUV）微影设备的部分零件生产区域仍在恢复当中。
发生火灾的工厂为ASML的光刻产品生产包括晶圆台、夹具、光罩卡盘和反射镜块在内的组件。ASML 7日发布新闻稿指出，过去几日进行的初步评估显示，柏林制造基地一生产线建筑有部分遭热融，冒出的浓烟也部分影响了隔壁栋建筑。这些受影响的建筑已顺利恢复一些生产作业，柏林厂区的其他建筑则未受影响，一直都能正常运作。
ASML当时持续评估受损情况，目前的检视结果如下：
- 计量（Metrology）和检测（Inspection）产出计划未受影响，因为使用的零组件并非来自柏林厂。
- 深紫外光曝光设备（DUV）零件生产已获重启。虽然DUV零件受到一些干扰，但ASML应能设法解决问题，不会影响DUV的产出及营收计划。
- 关于极紫外光（EUV）微影设备，火灾影响了晶圆夹（wafer clamp）一部分生产区域，这是EUV系统的一项模组。ASML还在设法让这个生产区恢复正常，也在评估要如何调整产出计划、现场服务（field service），让EUV客户可能受到的影响降至最低。
火灾导致生产中断数天，但ASML表示生产已经恢复。
“现场的其他建筑物没有受到影响，并且完全可以投入使用，”ASML评论道。 目前，该公司表示，主要中断与ASML的深紫外 (DUV)光刻系统有关，该系统用于将微芯片的微小特征打印到纳米级。ASML希望“以一种不会影响我们 DUV 的产量和收入计划的方式”来“修复”这种生产中断。
然而，火灾也影响了晶圆夹具的生产。晶圆夹具是ASML极紫外 (EUV)机器的一个组件，用于打印基础层和构建芯片架构。 晶圆夹具变得更加复杂，但 ASML 表示已经制定了恢复计划——该公司将努力将火灾对 EUV 客户在输出供应和现场的影响降至最低。
进一步的损失评估更新将在本月晚些时候ASML的第四季度和2021财年财务业绩时发布，ASML的股价因此下跌不少。
作为半导体公司的供应商，这远非2022年的一个良好开端，尤其是考虑到许多分析师认为明年将出现严重的芯片短缺。根据外媒报导，分析人士直指，若ASML的EUV设备出货量因为这场火灾缩减10%，则可能让全球微影设备供应量暂时减少8.4%，因为ASML拥有84%的市占率。
GlobalData表明，新的COVID-19变体的出现将影响包括汽车、无线和制药行业在内的行业的芯片供应，而德勤估计，到2022年底，这些关键技术组件正常的交货时间至少需要10到20周。
